在真空系统中,真空是针对大气而言的,一特定空间或系统内部分气体被排出,其内部空间的压力小于大气压力,则称此空间为真空或真空状态,简而言之,空间内压力低于一大气压力即为真空。
根据以上定义,造成真空技术可以很简单也可以很难,例如吸尘器即为利用真空原理,但在高科技制程中所要求的高真空和超高真空就必须要有足够的真空技术及设备才能达成。
真空度代表一个真空系统中剩余气体之程度,通常以剩余气体的气压来进行度量,而真空度一般区分如下:
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