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在真空系统中,真空是针对大气而言的,一特定空间或系统内部分气体被排出,其内部空间的压力小于大气压力,则称此空间为真空或真空状态,简而言之,空间内压力低于一大气压力即为真空。

根据以上定义,造成真空技术可以很简单也可以很难,例如吸尘器即为利用真空原理,但在高科技制程中所要求的高真空和超高真空就必须要有足够的真空技术及设备才能达成。

真空度代表一个真空系统中剩余气体之程度,通常以剩余气体的气压来进行度量,而真空度一般区分如下:

粗略真空:1000-1mbar,中度真空:1-10-3mbar,高真空度:10-3-10-7mbar,超高真空:10-7-10-10mbar,极超高真空:10-10mbar以下。

道田真空专注于半导体、航空航天、生医科技等众多行业,以技术作为发展导向,通过与国内外行业巨头和国内科研院校合作,有着深厚的技术沉淀,实现了技术国际同步化,服务本地专业化,具备了较强的独立开发和制造能力。

真空系统由真空泵作为真空源,配套相应的真空阀门,真空仪表、智能电控箱、真空罐、过滤器等组成。

道田可根据客户工艺,使用要求针对性设计,亦可来图定制。